高溫鐵電測試儀主要是由正弦波、三角波、間歇三角波、梯形波發生器及正、負矩形脈沖和雙極性雙脈沖發生器外加鐵電材料電滯回線、I-V特性及開關特性測量電路構成。測試系統主要包括可編程信號源、微電流放大器、積分器、放大倍數可編程放大器、模/數轉換器數/模轉化器、微機接口部分、微機和應用軟件等部分組成。

 

高溫鐵電測試儀采用虛地模式測量電路，與傳統的Sawyer-Tower模式相比，此電路取消了外接電容，可減小寄生元件的影響。此電路的測試精度僅取決于積分器積分電容的精度，減少了對測試的影響環節，比較容易定標和，并且能實現較高的測量準確度，它不僅能畫出鐵電薄膜的電滯回線，還可以定量得到鐵電薄膜材料的飽和極化ps、剩余極化Pr、矯頑場Ec、漏電流Ik等參數，以及對鐵電薄膜材料鐵電疲勞、鐵電保持的測試。。儀器采用一體化設計，實現測試結果全數字化，操作簡單方便。